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在萬物互聯的時代浪潮中，傳感器作為物聯網、工業互聯網、大數據與人工智能等前沿技術的核心元器件，正成為推動產業智能化升級的關鍵基石。而微機電系統（英文：Micro-Electro-Mechanical System，以下簡稱“MEMS”）得益于小體積、高穩定、高精度、低成本等優勢，隨著國家重大裝備性能和人民生活質量提升的雙重需求，在傳感器應用領域愈發重要。

對MEMS的探索可起源于20世紀50年代，一直以來，生產制造是MEMS產業鏈的最關鍵環節。MEMS源于集成電路的工藝基礎，線寬以90nm-0.35mm為主，雖然不像半導體先進制程達到28nm以下，但MEMS元器件結構相對復雜，除了延用集成電路的成熟工藝以外還需引入特殊工藝。MEMS傳感器芯片本質上是在硅片上制造極微小化機械系統和集成電路的集合體，加工工藝具有明顯的非標準化和定制化特征，制造的工藝水平基本上決定了MEMS產品的基準性能，并且對供應鏈體系支撐有較高的要求，從特定角度來說，MEMS工藝要求、MEMS定制化設備需求比集成電路要更高，因而MEMS晶圓制造決定了MEMS的產業化上限。

2025年10月22日至24日，第六屆中國MEMS制造大會暨微納制造與傳感器展覽會將在蘇州國際博覽中心隆重舉行。這場多年來緊緊圍繞MEMS“制造”的專業展會，聚焦傳感器前沿技術與產業發展，將再次匯聚全球頂尖專家與創新成果，為MEMS制造領域帶來全新發展機遇，助力產業生態繁榮發展。

該大會由中國唯一的MEMS行業權威組織——中國半導體行業協會MEMS分會主辦，自2019年起已連續成功舉辦五屆。大會延續高規格、強陣容、廣影響的行業定位，在展覽規模、產業鏈覆蓋等方面實現了全面升級。

24000㎡微納制造與傳感器展

1、參展范圍

MEMS微納制造產業鏈：

MEMS器件及模組、加工裝備、納米壓印、微制程技術、初試/量產代工、特殊工藝平臺、鍵合/解鍵合設備、分析檢測、特種封裝、MEMS融合接合技術、下一代光刻技術、感知元器件、執行器、各類傳感器等。

半導體制備材料：

鈮酸鋰/PZT/稀有金屬靶材等各類電子原材料、晶圓硅片、碳化硅/氮化鎵/氧化鎵等第三四代半導體材料、玻璃基板、光刻膠、特氣供應、制備耗材等。

計量、測試與認證：

精密分析儀器、科學試驗裝置、智能儀表、試驗機與力學檢測設備、精密測量與測試、光學檢測、質量檢測、量子化計量技術、先進計量測試技術、校準與檢測、第三方認證等。

AI、多傳感器融合、具身感知等應用：

多傳感器融合解決方案、人工智能技術、物聯網技術、算法及通訊模組、人形機器人、電子皮膚，靈巧手等。

2、已確定參展企業

目前，展區匯聚200多家MEMS全產業鏈知名企業單位，部分參展企業包括：歌爾、敏芯、明皜、漢威等MEMS器件設計企業；MEMSRIGHT、納米所加工平臺、晶方半導體、九峰山實驗室、芯動科技等20余家量產/代工企業；勝科納米、米格實驗室、中國機械總院、計量所等測試分析企業；南智光電、松山湖實驗室、化合積電等上游原材料企業；KLA、ULVAC、卡爾蔡司、奧林巴斯、Park等國內外設備企業。

2025年展商名錄，名單持續更新中

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3.擬邀2萬+精準觀眾

展區將吸引2萬+來自MEMS產業的精準觀眾，一同探討行業趨勢、尋找合作機會、拓展商業網絡。參展企業可以全方位呈現MEMS制造全產業鏈的科研成果和最新動態，與潛在客戶面對面交流，一站式滿足上下游客戶需求，從而建立長期穩定的合作關系。觀眾可以深入了解MEMS制造領域行業動態、學習先進技術經驗、尋找優質的合作伙伴。

知名觀展參會企業（部分名單）

名單持續更新中

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目前展位火熱預定中

200+企業參展，持續更新中

第六屆中國MEMS制造大會

經過連續五年的舉辦，China MEMS 中國MEMS制造大會已經成為中國MEMS行業內最知名的品牌會議之一，大會在推動國際國內MEMS技術創新和促進產業鏈資源整合方面發揮了關鍵作用。

本次大會設置的制造主題會場將完善上下游報告嘉賓資源，聚焦MEMS傳感器全產業鏈生態，深度解析投資機遇、核心材料、關鍵設備、先進設計、精密制造、高端封測及系統集成等核心環節。同時，大會將打造“MEMS+”概念，設立具身感知專題論壇，聚焦智能傳感器在工業與消費領域的創新應用，深入探討行業領軍企業對高性能傳感技術的核心訴求，推動MEMS技術跨行業融合與規?；涞?。此外，大會深度嵌入國際知名傳感器企業和行業組織，邀請海外企業高層共同探討MEMS產業國際合作新格局。

China MEMS 2025 擬受邀演講單位

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