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大連理工大學副教授張赫之：利用高Al組分β-(AlGa)2O3緩沖層在藍寶石襯底上優(yōu)化生長高質(zhì)量β-Ga2O3厚膜

視頻IFWS > IFWS20222025-04-01 11:29

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利用高Al組分-(AlGa)2O3緩沖層在藍寶石襯底上優(yōu)化生長高質(zhì)量-Ga2O3厚膜Growth of high quality - Ga2O3 thick film on sapphire by using high Al content - (AlGa)2O3 buffer layer張赫之大連理工大學副教授ZHANG HezhiAssociate professor of Dalian University of Technology

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