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中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所劉宗亮:氮化鎵單晶襯底生長與應用進展

視頻MOCVD20222025-04-01 22:34
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常見的氮化鎵器件為在異質襯底上長氮化鎵外延層制作成半導體器件。但由于使用的是異質襯底,材料之間存在著晶格失配與熱失配導致外延材料位錯密度比較高,阻礙了相關器件性能的提升及其穩定性。采用氮化鎵單晶襯底實現同質外延是提高氮化鎵外延層晶體質量進而提高氮化鎵器件的主要途徑。劉宗亮博士在報告中結合GaN材料生長制備的主要方法及挑戰,GaN單晶制備的主要方法與特點以及國際上GaN單晶生長研究進展等,分享了GaN單晶襯底生
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