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吳帆正樹：碳化硅溝槽刻蝕技術研究進展

視頻WBSC 20212025-04-04 20:21
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《碳化硅溝槽刻蝕技術研究進展》作者：吳帆正樹，張清純，馬宏平，張潔，侯欣藍，張園覽單位：復旦大學工程與應用技術研究院超越照明研究所
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