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汪洋：半導體用SiC涂層石墨托盤的制備與國產化

視頻WBSC 20212025-03-11 17:59
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《半導體用SiC涂層石墨托盤的制備與國產化》作者：汪洋，萬強單位：湖南德智新材料有限公司，南京工業大學材料科學與工程學院
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