近日，山東省發(fā)改委發(fā)布2025年新認(rèn)定山東省工程研究中心名單，青島華芯晶電科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱“華芯晶電”）牽頭申報(bào)的“化合物半導(dǎo)體單晶襯底制備技術(shù)山東省工程研究中心”成功入選。這一突破性成果，是對(duì)華芯晶電在化合物半導(dǎo)體襯底材料研發(fā)與制造領(lǐng)域科研實(shí)力與創(chuàng)新潛力的高度認(rèn)可。

該中心聚焦半導(dǎo)體上游關(guān)鍵基礎(chǔ)材料自主可控，以服務(wù)國家和省市重大戰(zhàn)略任務(wù)、支撐保障青島市新一代信息技術(shù)等創(chuàng)新型產(chǎn)業(yè)體系重大工程實(shí)施為目標(biāo)，通過產(chǎn)學(xué)研結(jié)合開展協(xié)同攻關(guān)，努力推進(jìn)人才集聚與培養(yǎng)，強(qiáng)化行業(yè)關(guān)鍵共性技術(shù)供給，加快科技成果轉(zhuǎn)化服務(wù)于地方經(jīng)濟(jì)高質(zhì)量發(fā)展，助力青島市創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展戰(zhàn)略實(shí)施，推動(dòng)半導(dǎo)體材料科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新深度融合。

該中心由華芯晶電與同濟(jì)大學(xué)聯(lián)合共建，現(xiàn)有固定研發(fā)人員150人，通過自主開發(fā)、產(chǎn)學(xué)研合作、企業(yè)間技術(shù)合作等方式，已開展技術(shù)研發(fā)項(xiàng)目70余項(xiàng)，其中省級(jí)以上在研項(xiàng)目30余項(xiàng)，獲得專利200余項(xiàng)，參與國家標(biāo)準(zhǔn)制定3項(xiàng)，獲得20余項(xiàng)榮譽(yù)獎(jiǎng)項(xiàng)。

據(jù)悉，該中心擬攻克一批制約產(chǎn)業(yè)向高端化轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵核心技術(shù)，與國內(nèi)高校和科研院所開展多維度產(chǎn)學(xué)研合作，充分利用國內(nèi)豐富應(yīng)用場(chǎng)景，將先進(jìn)技術(shù)成果在更多戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用，同時(shí)瞄準(zhǔn)國家未來產(chǎn)業(yè)重點(diǎn)領(lǐng)域，超前布局技術(shù)創(chuàng)新方向并開展相應(yīng)研究工作。在高品質(zhì)超寬禁帶氧化鎵單晶襯底的技術(shù)研究及產(chǎn)業(yè)化方面，一是基于導(dǎo)模法高效率生長(zhǎng)大尺寸且低缺陷密度的高質(zhì)量氧化鎵單晶，二是面向大功率、高耐壓器件應(yīng)用需求的氧化鎵襯底加工研究技術(shù)。在大尺寸、低成本磷化銦襯底的技術(shù)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化方面，一是重點(diǎn)進(jìn)行大直徑磷化銦單晶生長(zhǎng)熱場(chǎng)設(shè)計(jì)和調(diào)控技術(shù)研究，二是掌握大尺寸磷化銦晶體單晶良率提升和低位錯(cuò)控制關(guān)鍵技術(shù)。

華芯晶電于2011年在青島高新區(qū)成立，專注于從事磷化銦（InP）、氧化鎵（β-Ga2O3）等化合物半導(dǎo)體晶體生長(zhǎng)及襯底材料的研發(fā)、制造和銷售，是國內(nèi)最早進(jìn)行半導(dǎo)體化合物研究生產(chǎn)的企業(yè)之一，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路、人工智能、新型顯示、新能源等領(lǐng)域，改變了國內(nèi)半導(dǎo)體襯底晶片高端產(chǎn)品完全依賴進(jìn)口的局面，已成為國內(nèi)化合物半導(dǎo)體研發(fā)制造和硬脆材料加工領(lǐng)域的科技領(lǐng)軍企業(yè)。

基于戰(zhàn)略規(guī)劃和既定目標(biāo)，華芯晶電將依托省工程研究中心，積極發(fā)揮行業(yè)引領(lǐng)和主導(dǎo)作用，加強(qiáng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈上下游企業(yè)間的協(xié)同合作和相互支撐，研發(fā)并不斷優(yōu)化新型化合物半導(dǎo)體襯底材料，通過中試工藝優(yōu)化及下游應(yīng)用驗(yàn)證，實(shí)現(xiàn)先進(jìn)產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化制備和規(guī)模化應(yīng)用，提高產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈整體創(chuàng)新能力和競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，保障我國半導(dǎo)體行業(yè)關(guān)鍵材料安全自主可控。