近日，48所與國內某頭部企業(yè)簽訂超億元MOCVD設備訂單，并與國內頭部砷化鎵電池企業(yè)簽訂大規(guī)模MOCVD供貨戰(zhàn)略合作協(xié)議。

48所自研的MOCVD設備是一款專用于III-V族化合物半導體材料外延生長的關鍵裝備，該設備以砷/磷材料體系為核心，可高效制備砷化鎵、磷化銦等材料。該設備適用于光電激光器、射頻器件、空間太陽電池等領域，為5G通信、人工智能和自動駕駛等新興技術提供了核心材料制備平臺。設備集成了在線監(jiān)測、全自動傳輸?shù)认冗M技術，在材料均勻性、界面陡峭度和摻雜精度等關鍵指標上均達到行業(yè)領先水平。

作為國內化合物半導體外延裝備領域的領軍企業(yè)，48所已成功推出SiC外延爐、MBE設備及MOCVD等系列化設備。2022年曾斬獲國內龍頭企業(yè)最大規(guī)模6英寸SiC外延爐設備訂單，實現(xiàn)了國產外延高端裝備重大突破。

此次MOCVD設備的最新突破，將進一步拓寬48所在半導體領域的業(yè)務范疇，更好助力國家半導體裝備產業(yè)集聚區(qū)的建設。

（來源：中國電科第四十八研究所）