天眼查顯示，西安奕斯偉材料科技股份有限公司“定盤溝槽清潔裝置、清潔方法和研磨設備”專利公布，申請公布日為2025年3月14日，申請公布號為CN119609919A。
本發明涉及一種定盤溝槽清潔裝置、清潔方法和研磨設備，定盤溝槽清潔裝置包括：支撐架，支撐架的軸向方向上的頂端設置弧形滑軌，弧形滑軌所在的平面與支撐架的軸向方向相垂直；支撐臂，支撐臂的一端通過滑塊可移動的連接于弧形滑軌上，支撐臂的另一端向遠離弧形滑軌的方向延伸設置，支撐臂的延伸方向與弧形滑軌所在的平面相平行，支撐臂的外周面上設置直線型滑軌，直線型滑軌的延伸方向與支撐臂的延伸方向相平行；刮刀，可移動的設置于直線型滑軌上；第一控制結構，用于控制支撐臂沿著弧形滑軌滑動，以使得刮刀的位置與定盤上待清潔溝槽的位置相對應；第二控制結構，用于控制刮刀沿著直線型滑軌移動，以對定盤上待清潔溝槽進行清潔。
