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晶盛機電獲得發明專利授權:“碳化硅晶錠激光切割方法及切割系統”

日期:2025-06-18 閱讀:255
核心提示:根據天眼查APP數據顯示晶盛機電(300316)新獲得一項發明專利授權,專利名為碳化硅晶錠激光切割方法及切割系統,專利申請號為CN202

根據天眼查APP數據顯示晶盛機電(300316)新獲得一項發明專利授權,專利名為“碳化硅晶錠激光切割方法及切割系統”,專利申請號為CN202510437342.8,授權日為2025年6月17日。

專利摘要:本申請提供了一種碳化硅晶錠激光切割方法及切割系統,屬于碳化硅晶錠加工技術領域,解決了現有技術碳化硅晶錠激光切割損耗較高的問題。本申請的切割方法包括以下步驟:獲取晶錠上的操作工位的位置,所述操作工位為朝向激光源的晶錠表面區域;于操作工位下方設定一掃描路徑和一目標深度,控制第一光束沿掃描路徑對目標深度進行掃描,所述第一光束的聚焦光斑配置為高斯光斑;獲取第一光束形成的裂紋信息,所述裂紋信息包括裂紋寬度,將裂紋寬度由大到小分級依次分為A級、B級、C級;確定裂紋寬度級別,執行相應裂紋控制策略。本申請通過增設第二光束以相位調制的方式跟隨第一光束同步掃描,產生的壓應力可以抵消原有拉應力,以抑制裂紋擴展。

今年以來晶盛機電新獲得專利授權61個,較去年同期減少了17.57%。結合公司2024年年報財務數據,2024年公司在研發方面投入了11.19億元,同比減2.29%。

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