國家知識產權局信息顯示，九奕半導體設備（上海）有限公司取得一項名為“一種光刻機的送料機構”的專利，授權公告號CN 222330713 U，申請日期為2024年4月。
專利摘要顯示，本實用新型公開了一種光刻機的送料機構，本實用新型涉及光刻機技術領域，包括送料裝置本體，送料裝置本體的頂部以及底部分別安裝有限位組件、調節組件和穩定組件，調節組件包括驅動電機、固定板、涂膠輥以及連接柱，驅動電機的輸出端與固定板的一側花鍵連接，連接柱的一端轉動連接于固定板的另一側，并且固定板的內部螺紋連接有螺紋栓，連接柱的另一端固定連接于涂膠輥的一端，本實用新型的優點在于：通過對固定板位置的移動，來帶動連接柱以及涂膠輥進行同步運動，再配合螺紋栓將調節后固定板的位置進行固定，從而使得涂膠輥能夠根據不同的硅片厚度來調整自身與傳送帶之間的距離，使得硅片在涂布的過程中更加均勻。
天眼查資料顯示，九奕半導體設備（上海）有限公司，成立于2021年，位于上海市，是一家以從事批發業為主的企業。企業注冊資本100萬人民幣。通過天眼查大數據分析，九奕半導體設備（上海）有限公司專利信息8條，此外企業還擁有行政許可1個。
