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芯聯集成“一種半導體結構及其形成方法”專利公布

日期:2024-12-11 閱讀:266
核心提示:天眼查顯示,芯聯集成電路制造股份有限公司一種半導體結構及其形成方法專利公布,申請公布日為2024年11月5日,申請公布號為CN118

天眼查顯示,芯聯集成電路制造股份有限公司“一種半導體結構及其形成方法”專利公布,申請公布日為2024年11月5日,申請公布號為CN118899257A。

本發明提供一種半導體結構及其形成方法,所述半導體結構包括:襯底;層間介質層,覆蓋襯底;接觸孔,自層間介質層的表面延伸至伸入襯底內;第一粘合層,覆蓋接觸孔的底壁及側壁;導電插塞,填充接觸孔;第二粘合層,形成于層間介質層及導電插塞的表面,第二粘合層的硬度大于第一粘合層的硬度;以及,金屬電極層,覆蓋第二粘合層。利用第二粘合層作為金屬電極層與層間介質層之間的結合層,由于第二粘合層的硬度大于第一粘合層的硬度,可有效阻隔金屬電極層對襯底的影響,因此可以提高打線強度,同時,在形成第二粘合層時,先去除層間介質層上的第一粘合層,第二粘合層不會因與第一粘合層之間結合力差而容易剝落,由此可以保證器件性能。

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