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揚杰科技申請一種改善雙極退化的碳化硅 MOSFET 器件及制備方法的專利

日期:2024-09-05 閱讀:269
核心提示:天眼查知識產權信息顯示,揚州揚杰電子科技股份有限公司申請一項名為一種改善雙極退化的碳化硅 MOSFET 器件及制備方法,公開號 C

天眼查知識產權信息顯示,揚州揚杰電子科技股份有限公司申請一項名為“一種改善雙極退化的碳化硅 MOSFET 器件及制備方法“,公開號 CN202410623592.6,申請日期為 2024 年 5 月。

專利摘要顯示,一種改善雙極退化的碳化硅 MOSFET 器件及制備方法。涉及半導體技術領域。包括如下步驟:S100,在碳化硅襯底上外延生長形成碳化硅漂移層;S200,在碳化硅漂移層源區形成 N+區;S300,在碳化硅漂移層形成 PW 區;S400,在 PW 區形成 Spacer 層,通過離子注入形成 NP 區;S500,在 PW 區形成 PP 區;S600,在碳化硅漂移層形成 JFET 區;S700,在碳化硅漂移層頂面形成柵氧層;S800,在柵氧層上通過沉積多晶硅形成 Poly 層,作為柵電極引出;S900,在 Poly 層上通過沉積形成與 Poly 層和 NP 區相接觸的隔離介質層,隔絕柵極和源級,避免兩處短接;本發明降低器件電阻,提高器件通流能力,降低了器件發生雙極退化的可能性。

 

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