近日，上海漢虹精密機械有限公司（下文簡稱上海漢虹）在拉晶實驗室中，使用自行研發制造的碳化硅長晶爐成功拉制出高品質8英寸碳化硅晶體，此晶體具備優良的均勻性和低缺陷密度，直徑達到200毫米標準，電阻率和晶向均符合高端應用要求，展現了漢虹出色的設備研發制造能力與工藝控制水平。 

上海漢虹作為一家專注于半導體材料晶體生產&加工設備的高新技術企業，多年來深耕于半導體材料相關設備的研究與創新。本次采用的碳化硅長晶爐，采用上進料方式，完全自動化控制，而且通過熱場旋轉及熱場工藝穩定性設計，能夠有效調整徑向和軸向溫度梯度，確保晶體生長過程中溫度的均勻性和穩定性。 

此外，上海漢虹自主研發的異地網絡遠程監控操作系統，實現了長晶過程的全自動控制。這套系統具備分級權限管理功能，便于工藝參數的精準控制，并支持遠程操作，使得無人值守成為可能，大大提升了生產效率和安全性。 

隨著新能源汽車、5G通訊等新興產業的蓬勃發展，對于高性能碳化硅器件的需求日益增加。然而，長期以來，高品質大尺寸碳化硅晶圓的供應不足一直是制約行業發展的一大瓶頸。上海漢虹此次的成功，為未來碳化硅器件的大規模商業化應用提供了堅實基礎。 

上海漢虹通過持續的技術創新，在8英寸碳化硅長晶爐的研發制造與生產應用上取得了顯著成就。這是上海漢虹發展歷程中的一個關鍵節點，也體現了中國半導體材料設備產業的進步。我們期待與更多合作伙伴一起，共同推動半導體產業的進一步發展。

來源：上海漢虹