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瀚天天成“一種降低碳化硅外延片生長缺陷的方法及碳化硅襯底”專利獲授權

日期:2024-08-29 閱讀:275
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天眼查顯示,瀚天天成電子科技(廈門)股份有限公司近日取得一項名為“一種降低碳化硅外延片生長缺陷的方法及碳化硅襯底”的專利,授權公告號為CN113782422B,授權公告日為2024年8月13日,申請日為2020年12月28日。

本發明涉及一種降低碳化硅外延生長缺陷的方法及碳化硅襯底,所述方法包括:步驟10:碳化硅襯底的注入面表面沉積500800nm的SiO2作為掩膜層,對刻蝕窗口下掩膜層進行刻蝕,完成刻蝕后,對光刻膠進行清洗;步驟20:對上一步獲得的碳化硅襯底的所述注入面進行N元素的高溫離子注入,形成高N區域;步驟30:完成N元素的高溫離子注入后,使用酸性緩沖液進行清洗,洗去掩膜層,得到經過處理的碳化硅襯底,以其作為外延生長的基片。該方法可以阻止常規碳化硅襯底中BPD延伸擴展導致的外延生長堆垛層錯(SF)的形成,提高外延生長的質量。

 

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