近日，大全能源半導體級多晶硅項目首批產品順利出爐。內蒙古大全半導體有限公司總經理對新華財經表示，首批產品出爐表明半導體項目流程已完全打通，下一步將盡快完成質量爬坡和產品分級驗證。

2021年，大全能源規劃在內蒙古自治區包頭市建設20萬噸高純多晶硅項目和2.1萬噸半導體級硅基材料項目，預計總投資242.5億元。其中，一期年產1000噸半導體級多晶硅項目占地約135畝，于2022年二季度正式開工，并在2023年9月成立內蒙古大全半導體有限公司進行獨立運營。

圖：半導體級多晶硅成功出爐

半導體級多晶硅是集成電路硅晶圓上游的原材料，也是集成電路（半導體）制造產業的源頭和基礎，95%以上的半導體器件和集成電路是硅基材料制作的。當前，8英寸、12英寸晶圓用多晶硅主要用于超大規模集成電路，對于多晶硅產品雜質控制、晶體構型、穩定性等隱性指標要求極高，只有從設計之初進行工藝、技術、裝備制造、工程建設、裝置運行等綜合性進行全盤考慮，并在各環節的過程控制上做到精益求精，才能夠產出合格產品。

目前，國內半導體級多晶硅產品供應不足，12英寸直拉用多晶硅及8英寸區熔用多晶硅嚴重依賴進口，主要產能集中在美國Hemlock、德國Wacker、日本Tokuyama等企業。

“首批產品順利出爐是大全技術創新和產業升級的重要成果，是質量體系和生產運營體系高度融合的結果，下一步我們將進入質量爬坡階段，并盡快進行產品分級驗證。近期已有國內外多家下游客戶表達了合作意向，我們正在積極溝通過程中。”內蒙古大全半導體有限公司總經理表示。

集成電路電子特氣也是大全半導體級多晶硅項目的副產品，得益于半導體級多晶硅項目的工藝特點，該項目生產的硅基電子特氣具備更高的純度。

據了解，根據大全能源現有凈化提純系統可直接制備年產6000噸電子級二氯二氫硅，并具備年產1000噸電子級硅烷氣、40噸六氯乙硅烷、400噸電子級氯化氫能力。電子特氣作為集成電路產業的“血液”，主要應用于外延生長、刻蝕清洗等環節，國內多家電子特氣龍頭企業也表達了與大全合作的意向。

文章來源：新華財經