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拓荊科技半導體先進工藝裝備研發與產業化項目結構封頂

日期:2024-04-30 閱讀:266
核心提示:4月25日,拓荊科技(上海)半導體先進工藝裝備研發與產業化項目主體鋼結構全面完工封頂。上海地產閔虹集團消息顯示,該項目建筑

 4月25日,拓荊科技(上海)半導體先進工藝裝備研發與產業化項目”主體鋼結構全面完工封頂。上海地產閔虹集團消息顯示,該項目建筑面積約10萬㎡,用于開發先進的ALD薄膜工藝技術及高產能設備平臺,并實現以臨港為中心客戶群所需半導體設備的產業化。

拓荊科技(上海)有限公司(以下簡稱“拓荊科技”)成立于2020年12月,是拓荊科技股份有限公司在臨港設立的全資子公司。拓荊科技主要從事高端集成電路薄膜裝備的研發、生產與銷售,聚焦半導體薄膜沉積設備,是國內專用量產型PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD設備的企業。

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