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士蘭微獲得發明專利授權:“功率半導體器件及其制造方法”

日期:2024-02-26 閱讀:341
核心提示:證券之星消息,根據企查查數據顯示士蘭微(600460)新獲得一項發明專利授權,專利名為功率半導體器件及其制造方法 ,專利申請號

 證券之星消息,根據企查查數據顯示士蘭微(600460)新獲得一項發明專利授權,專利名為 " 功率半導體器件及其制造方法 ",專利申請號為 CN202111546517.7,授權日為 2024 年 2 月 23 日。

專利摘要:公開了一種功率半導體器件及其制造方法,功率半導體器件包括:半導體襯底;位于半導體襯底上的外延層;位于外延層中的第一介質槽和第二介質槽,第一介質槽和第二介質槽內填充有第一介質層;位于第一介質槽內的柵氧化層、控制柵和屏蔽柵;位于第一介質槽和第二介質槽兩側的源區和漏區;其中,控制柵由外延層表面延伸至第一介質槽上部,屏蔽柵由外延層表面延伸至第一介質槽下部,柵氧化層將控制柵和屏蔽柵、控制柵和外延層隔開。本發明采用兩個介質槽的結構使漂移區的形貌不再是直線,而形成折線 ( V 型或凹型 ) 形貌的漂移區,可以增加漂移區的有效長度,在同樣的擊穿電壓下實現更小的特征導通電阻。

今年以來士蘭微新獲得專利授權 14 個,較去年同期增加了 75%。結合公司 2023 年中報財務數據,2023 上半年公司在研發方面投入了 3.63 億元,同比增 15.47%。

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