國林科技(300786.SZ)作為國內大型臭氧系統(tǒng)設備龍頭，掌握臭氧系統(tǒng)設備的全套核心技術，產品涵蓋全系列臭氧發(fā)生器及其系統(tǒng)設備，廣泛應用于市政給水、工業(yè)廢水、煙氣脫硝、市政污水、空間消毒等。

據(jù)年報信息，近年來國林科技圍繞臭氧工藝積極進行下游多元化延伸，致力于打造臭氧領域綜合解決方案供應商。醫(yī)療健康領域，子公司國林健康成功研發(fā)電解水式臭氧發(fā)生器，部分健康品類產品的市場推廣正順利推進;半導體領域，公司系列產品已在多家下游頭部客戶中順利驗證;同時乙醛酸業(yè)務即將進入正式生產階段，市場拓展也正順利進行，未來下游多點開花有望打開成長空間。

在半導體領域，國林科技持續(xù)研發(fā)近5年，已成功生產出高濃度臭氧水發(fā)生器和高濃度臭氧氣體發(fā)生器兩種產品，分別應用于半導體清洗和薄膜沉積環(huán)節(jié)。公開資料顯示，當前我國半導體臭氧設備市場主要被美國MKS及德國安索羅斯等海外廠商占據(jù)，國內尚無量產企業(yè)。據(jù)公開披露，國林科技生產的半導體臭氧水發(fā)生器的臭氧水濃度可達80-150PPm，臭氧氣體發(fā)生器出氣濃度可達200-300mg/L，能夠滿足半導體工藝需求，同時已取得相應專利，產品性能已基本對標海外廠商。

根據(jù)公司公開交流，國林科技半導體專用臭氧設備已于2022年下半年送樣下游半導體清洗設備、薄膜沉積設備頭部企業(yè)及部分面板廠等，當前產品正順利驗證中，預計將于2024年實現(xiàn)小批量供貨，半導體級臭氧設備國產替代進程可期。

（來源：中國經(jīng)濟新聞網(wǎng)）