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中芯國(guó)際新專利已獲授權(quán)!

日期:2023-08-23 閱讀:564
核心提示:據(jù)悉,近日,據(jù)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)消息,中芯國(guó)際專利名稱為晶圓的清洗方法的法律狀態(tài)為已獲授權(quán),公開號(hào)為CN111584340B。圖片來(lái)

據(jù)悉,近日,據(jù)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)消息,中芯國(guó)際專利名稱為“晶圓的清洗方法”的法律狀態(tài)為已獲授權(quán),公開號(hào)為CN111584340B。

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圖片來(lái)源:國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)截圖
 
中芯國(guó)際專利指出,目前在半導(dǎo)體器件的的制造工藝中,經(jīng)常會(huì)在具有疊層結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體器件表面上形成凸凹不平的結(jié)構(gòu),通常使用化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)工藝平整凸凹不平的表面。化學(xué)機(jī)械研磨亦稱為化學(xué)機(jī)械拋光,是目前機(jī)械加工中唯一可以實(shí)現(xiàn)表面全局平坦化的技術(shù)。化學(xué)機(jī)械研磨工藝中,一般是把芯片放在旋轉(zhuǎn)的研磨墊(pad)上,再加一定的壓力,使用含有拋光顆粒(例如SiO2顆粒)的研磨液(slurry),在化學(xué)腐蝕與磨削移除的交互作用下進(jìn)行平坦化。在化學(xué)機(jī)械研磨工藝之后,研磨液中的顆粒成為缺陷微粒存在于晶圓表面,因此必須從晶圓表面完全除去才能保持半導(dǎo)體器件的可靠性和生產(chǎn)線的清潔度。鑒于此,實(shí)有必要提出一種晶圓的清洗方法,以提升清洗效果,從而提高產(chǎn)品的良率。
 
專利摘要顯示,一種晶圓的清洗方法,包括以下步驟:提供晶圓;清洗所述晶圓表面,清洗后的所述晶圓表面呈正電性,晶圓表面殘留物具有負(fù)電性;調(diào)節(jié)所述晶圓表面電性或所述殘留物的電性,使所述晶圓表面和所述殘留物的呈相同電性;對(duì)所述晶圓表面進(jìn)行干燥,去除所述殘留物。根據(jù)同性相斥的原理,經(jīng)過(guò)調(diào)節(jié)后所述殘留物與所述晶圓表面電性相同,因此所述殘留物不會(huì)粘附在所述晶圓的表面,而是懸浮在晶圓表面的液膜內(nèi)。在后續(xù)的干燥過(guò)程中,懸浮在液膜內(nèi)的殘留物會(huì)隨著液膜一起被去除,提高了產(chǎn)品良率。
 
此外,中芯國(guó)際先前公布2023年二季度財(cái)報(bào),公司該季度銷售收入環(huán)比增長(zhǎng)6.7%至15.6億美元,毛利率下降0.5個(gè)百分點(diǎn)到20.3%。12英寸產(chǎn)能需求相對(duì)飽滿,8英寸客戶需求疲弱,產(chǎn)能利用率低于12英寸,但仍好于業(yè)界平均水平。
 
中芯國(guó)際預(yù)計(jì)三季度銷售收入環(huán)比增長(zhǎng)3%到5%,毛利率在18%到20%之間。三季度出貨量預(yù)計(jì)將繼續(xù)上升,而同時(shí),折舊也將持續(xù)增加。下半年公司銷售收入預(yù)計(jì)好于上半年。公司將繼續(xù)做好技術(shù)研發(fā)、平臺(tái)開發(fā)工作,把新產(chǎn)品快速驗(yàn)證出來(lái),把配套產(chǎn)能最快速度安排好,為下一輪的增長(zhǎng)周期做好準(zhǔn)備。
 
中芯國(guó)際的主營(yíng)業(yè)務(wù)為晶圓代工,從國(guó)內(nèi)布局來(lái)看,目前中芯國(guó)際在上海、北京、天津、深圳建有三座8英寸晶圓廠和四座12英寸晶圓廠;在上海、北京、天津各有一座12英寸晶圓廠在建中。另?yè)?jù)TrendForce集邦咨詢研究顯示,在2023年第一季全球晶圓代工市場(chǎng)中,中芯國(guó)際以5.3%的市占率位居全球第五。
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