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華海清科12英寸超精密晶圓減薄機 Versatile-GP300量產(chǎn)機臺出機

日期:2023-05-17 閱讀:258
核心提示:近日,華海清科股份有限公司(簡稱華海清科,股票代碼:688120)全新一代12英寸超精密晶圓減薄機Versatile-GP300量產(chǎn)機臺出機發(fā)

近日,華海清科股份有限公司(簡稱“華海清科”,股票代碼:688120)全新一代12英寸超精密晶圓減薄機Versatile-GP300量產(chǎn)機臺出機發(fā)往集成電路龍頭企業(yè),標志著公司自主研發(fā)的國產(chǎn)減薄設備批量進入大生產(chǎn)線。

華海清科Versatile-GP300是業(yè)內(nèi)首次實現(xiàn)12英寸晶圓超精密磨削和CMP全局平坦化的有機整合集成設備,自主研發(fā)的超精密晶圓磨削系統(tǒng)穩(wěn)定實現(xiàn)12英寸晶圓片內(nèi)磨削TTV<1um,達到了國內(nèi)領先和國際先進水平。華海清科創(chuàng)新開發(fā)的CMP多區(qū)壓力智能控制系統(tǒng),突破傳統(tǒng)減薄機的精度限制,實現(xiàn)了減薄工藝全過程的穩(wěn)定可控。

資料顯示,華海清科股份有限公司是一家擁有核心自主知識產(chǎn)權(quán)的高端半導體設備制造商,公司主要產(chǎn)品包括CMP設備、減薄設備、供液系統(tǒng)、晶圓再生、關(guān)鍵耗材與維保服務,初步實現(xiàn)了產(chǎn)品+服務的平臺化戰(zhàn)略布局。核心團隊成員來自半導體行業(yè)專業(yè)人才,公司主要產(chǎn)品及服務已廣泛應用于集成電路、先進封裝、大硅片、第三代半導體、MEMS、Micro LED等制造工藝。

(來源:華海清科)

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