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南大光電:已建成年產5噸ArF干式光刻膠生產線

日期:2023-03-29 閱讀:293
核心提示:《科創板日報》29日訊,南大光電近期在接受投資者調研時表示,公司年產25噸的ArF高端光刻膠生產線尚未滿產。正在抓緊ArF光刻膠產

 《科創板日報》29日訊,南大光電近期在接受投資者調研時表示,公司年產25噸的ArF高端光刻膠生產線尚未滿產。正在抓緊ArF光刻膠產品認證和市場拓展工作,具體量產時間需根據訂單情況確定。已建成年產5噸ArF干式光刻膠生產線、年產20噸ArF浸沒式光刻膠生產線及年產45噸的光刻膠配套高純試劑生產線,具備ArF光刻膠及配套關鍵組分材料的生產能力。目前公司送樣驗證的產品均由該自建產線產出,且已有兩款產品分別在下游客戶存儲芯片50nm和邏輯芯片55nm技術節點的產品上通過認證,并實現少量銷售。

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