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盛美上海首次獲得Ultra C SiC 碳化硅襯底清洗設備采購訂單

日期:2023-03-28 閱讀:245
核心提示:盛美上海宣布首次獲得Ultra C SiC 碳化硅襯底清洗設備的采購訂單。該平臺還可配置盛美上海自主研發的空間交變相位移(SAPS)清洗

 盛美上海宣布首次獲得Ultra C SiC 碳化硅襯底清洗設備的采購訂單。該平臺還可配置盛美上海自主研發的空間交變相位移(SAPS)清洗技術,在不損傷器件的前提下實現更全面的清洗。該訂單來自中國的碳化硅襯底制造商,預計將在2023年第三季度末發貨。

盛美上海董事長王暉博士表示:“功率半導體市場增長勢頭強勁,電動汽車市場和相關基礎設施的部署如火如荼。這份訂單表明了盛美上海在先進半導體晶圓制造設備方面的經驗,也可用于滿足碳化硅襯底制造的獨特要求。我們仍然致力于豐富我們的產品組合,以把握更多的市場機會。”  

資料顯示,盛美上海的該Ultra C SiC 碳化硅襯底清洗設備使用SC1(氨水/雙氧水混合藥液)、SC2(鹽酸/雙氧水混合藥液)、DHF(稀氫氟酸)及其他化學進行清洗工藝,并可選配公司自主研發的Smart Megasonix技術進一步優化清洗效果。該設備兼容6英寸和8英寸,每小時可達70多片晶圓的產能,而且已進行了升級優化,可避免薄且易碎的碳化硅襯底的碎片。

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