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中微公司全球第500臺MOCVD設備順利付運

日期:2022-10-26 閱讀:238
核心提示:10 月 25 日,中微半導體設備(上海)股份有限公司宣布:全球第 500 臺 MOCVD 設備順利付運國內一家專業從事 LED 外延片和芯片的

10 月 25 日,中微半導體設備(上海)股份有限公司宣布:全球第 500 臺 MOCVD 設備順利付運國內一家專業從事 LED 外延片和芯片的研發生產制造商。本批次運付的第 500 臺 MOCVD 設備為中微公司 2021 年 6 月推出的 Prismo UniMax ®,主要用于氮化鎵基 Mini LED 外延片量產。

作為專為高性能 Mini LED 量產而設計的 MOCVD 設備,Prismo UniMax ® 具備高產能和高靈活性的特點,在同一系統中可配備多達 4 個反應腔,每個反應腔均可實現獨立控制。Prismo UniMax ® 配置了 785mm 大直徑石墨托盤,通過石墨托盤的不同設計配置,最多可實現同時加工 164 片 4 英寸或 72 片 6 英寸外延晶片,有效提高產能并降低生產成本。此外,Prismo UniMax ® 創新的多區輔助加熱調節系統,能精確控制托盤局部區域溫度,有助于更大程度提升 LED 波長均勻性。

 

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