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盛美上海推出全新升級版先進封裝用涂膠設備

日期:2022-05-27 來源:半導體產業網閱讀:366
核心提示:近日,盛美上海宣布推出升級版的涂膠設備,該款設備在性能和外觀進行了優化,應用于先進晶圓級封裝。
近日,盛美上海宣布推出升級版的涂膠設備,該款設備在性能和外觀進行了優化,應用于先進晶圓級封裝。
 
據介紹,盛美上海涂膠設備兼容200mm和300mm晶圓,可執行晶圓級封裝光刻工藝的關鍵步驟,如光刻膠和Polyimide涂布、軟烤;可利用創新性方法和精準的涂膠控制,實現精確的阻擋邊緣清除效果。
 
涂膠腔內采用盛美上海專有的全方位無死角自動清洗技術,可以縮短設備預防性維護(PM)的時間,尤其是針對光刻膠厚度較高(甚至超過100?m)的涂膠應用。
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圖片來源:盛美上海
 
據了解,繼成立小芯片聯盟后,英特爾、臺積電和三星等芯片制造巨頭加大布局先進封裝領域。盛美上海表示,國內封測廠商擴張先進封裝產能,國產半導體設備進程加速,今年客戶需求依然旺盛,公司訂單保持強勁,產能擴張計劃推進順利。此次全新升級的涂膠設備自推出以來已獲得不同客戶的多臺訂單,有助于獲得更多目標市場份額,增加了盛美上海濕法成套設備的競爭力。 
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