1月19日，阿斯麥發布了2021年的財報數據，全年掙了59億歐元（折合約424.5億元人民幣），銷售額達到186億歐元（折合約1338億元人民幣）。
2021年，ASML全年營收增長33%，達186億歐元。其中EUV光刻機銷售額為63億歐元（約合453億人民幣），較去年增長41%；非EUV光刻機銷售額為74億歐元（約合532億人民幣），較去年增長26%。
在訂單方面，2021年ASML總預定訂單金額為262億歐元（約合1886億人民幣），同比增長超過200%。在細分市場，ASML來自邏輯終端的收入為96億歐元（約合691億人民幣），增長30%；來自內存終端的收入則為41億歐元（約合295億人民幣），比去年增長39%，光刻機系統銷售額超過136億歐元（約合979億人民幣）。安裝基礎業務增長了約35%，為50億歐元（約合360億人民幣）。2021年，ASML研發支出為25億歐元（約合180億人民幣），占2021年銷售額的14%。2021全年，ASML光刻機銷售額為136.53億歐元，其中最先進的EUV光刻機銷售額占46%，ArFi光刻機銷售額占36%較去年有所下降。
報道指出，阿斯麥在2021年總共出貨286臺光刻機，但他家的掌門人直言，目前仍處于供不應求的狀態，客戶需求已經比既有產能高出近40%。要知道，阿斯麥的背后股東可是包含臺積電、三星電子這兩大芯片巨頭在內，本來臺積電、三星電子在2021年的芯片產能就處于滿負荷狀態，對于半導體設備的需求自然跟著水漲船高。
與此同時，為了盡快推進自己的高端芯片制程，同時加緊追趕臺積電和三星，美國巨頭英特爾還先下手為強，找阿斯麥采購了最先進級別的光刻機——EXE:5000，是全球第一家拿到此設備的公司。該光刻機是ASML最新的High-NA光刻機，有著更高的光刻精度，EXE:5000光刻機能夠提供0.55 NA的數值孔徑，相比于先前配備0.33 NA透鏡的EUV光刻機，EXE:5000精度更高，能夠在光刻中實現更高的分辨率，制造尺寸更小的晶體管。單臺售價超過3億美元（約合19億人民幣），預計將在2024年出貨，將在2025年進入產線。
