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英諾激光:目前公司產品在芯片制造領域的應用為晶圓加工缺陷檢測、碳化硅退火等制造工序

日期:2021-07-26 來源:半導體產業網閱讀:467
核心提示:英諾激光:目前公司產品在芯片制造領域的應用為晶圓加工缺陷檢測、碳化硅退火等制造工序
 有投資者在投資者互動平臺提問:半導體芯片制造部分關鍵工序中,穩定可靠的高功率綠光、紫外和深紫外激光器是有效加工手段之一,貴司是全球少數能夠提供應用于LOW-K材料半導體晶圓分切的深紫外激光器的廠商之一。是不是意味著貴司的產品在半導體芯片制造中不可或缺。
 
英諾激光(301021.SZ)7月26日在投資者互動平臺表示,您好,感謝您對公司的關注!目前公司產品在芯片制造領域的應用為晶圓加工缺陷檢測、碳化硅退火等制造工序。
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