英國南安普敦大學當地時間 4 月 30 日宣布開設全球第二家電子束光刻工廠。這是日本境外的首座同類設施，也是歐洲首個尖端半導體工廠。據了解，不同于現有的主流商用技術路線 —— 激光圖案化，電子束光刻以高能電子對光刻膠進行曝光，繪制出半導體電路圖案。

電子束光刻技術具備優秀的分辨率，可不經過掩膜直寫，但也存在著效率較低、控制復雜的等弱點，在實際商業生產中通常被用在掩膜制作這一輔助工藝中，不以核心工藝技術出現。 

出席活動的英國科技部國務大臣 Patrick Vallance 表示：英國擁有一些世界上最令人興奮的半導體研究成果，南安普敦的新電子束設施將極大地提升我們國家的能力。通過對基礎設施和人才兩方面的投資，我們為研究人員和創新者提供在英國開發下一代芯片所需的支持。 

來源：IT之家