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西安交通大學李虞鋒:SNOM對GaN基發光芯片的高空間分辨光學表征

日期:2023-08-02 閱讀:404
核心提示:近日,2023功率與光電半導體器件設計及集成應用論壇于西安召開。論壇由第三代半導體產業技術創新戰略聯盟(CASA)指導,西安交通

 近日,“2023功率與光電半導體器件設計及集成應用論壇”于西安召開。論壇由第三代半導體產業技術創新戰略聯盟(CASA)指導,西安交通大學、極智半導體產業網(m.ynpmqx.com)、第三代半導體產業主辦,西安電子科技大學、中國科學院半導體研究所、第三代半導體產業技術創新戰略聯盟人才發展委員會、全國半導體應用產教融合(東莞)職業教育集團聯合組織、西安和其光電股份有限公司等單位協辦。

李虞鋒

期間,“平行論壇2:光電子器件及應用”上,西安交通大學研究員李虞鋒帶來了“SNOM對GaN基發光芯片的高空間分辨光學表征”的主題報告,近場光學技術,克服了傳統光學顯微鏡的衍射極限,可以實現超分辨率顯微觀測。報告分享了SNOM技術原理、技術特點與研究思路,空氣腔陣列圖案化藍寶石基板生長量子阱,半極性 (20-21)藍色和綠色量子阱,金屬等離子體增強型量子阱等研究進展。

報告指出,利用SNOM探究了空氣腔陣列結構LED空間分辨的發光特性,研究發現空氣腔結構改善了外延的晶體質量、應力以及光提取效率,從而導致空氣腔區域的IQE和EQE提高;空氣腔區域晶體質量的改善提高了有效載流子濃度,導致大功率下空氣腔區域中與俄歇復合相關的非輻射復合增加,droop加劇;利用SNOM探究了(20-21)半極性雙波長LED的發光特性,研究發現TDs、SFs和幾乎無缺陷區域的周期性交替分布導致PL強度和應力呈現周期性波動;其中,幾乎無缺陷的區域B,PL強度最高,應力最大,表現出最強的QCSE; 綠光的峰值波長主要受In組分而不是QCSE的影響,而藍光的峰值波長主要由應力導致的QCSE決定;綠光的半峰寬受缺陷的影響更為顯著,而藍光的半峰寬受QCSE的影響更為明顯。利用SNOM探究了LSP耦合增強雙波長藍光QWs的微觀特性,研究發現:觀察到LSP耦合效應隨耦合距離和激發功率變化逐漸演變的過程;隨耦合距離減小,效率droop加重,說明當QWs自身的輻射復合較強時,LSP對效率droop產生的是負面影響。

CASICON 系列活動簡介

 “先進半導體產業大會(CASICON)”由【極智半導體產業網】主辦,每年在全國巡回舉辦的行業綜合活動。活動聚焦先進半導體產業發展熱點,聚合產業相關各方訴求,通過“主題會議+項目路演+展覽”的形式,促進參與各方交流合作,積極推動產業發展。CASICON 系列活動將以助力第三代半導體產業為己任,聯合實力資源,持續輸出高質量的活動內容,搭建更好的交流平臺,為產業發展貢獻應盡的力量。

(備注:以上信息僅根據現場整理未經嘉賓本人確認,僅供參考!)

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