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西安華合德新材料李灝文:面向低成本碳化硅功率器件用大尺寸SiC 單晶技術

日期:2023-08-01 閱讀:385
核心提示:大尺寸SiC單晶具有更大的晶片尺寸和更高的晶片質量,技術的不斷改進,為高性能SiC器件的制備提供更好的材料基礎,推動碳化硅技術

大尺寸SiC單晶具有更大的晶片尺寸和更高的晶片質量,技術的不斷改進,為高性能SiC器件的制備提供更好的材料基礎,推動碳化硅技術在功率電子、射頻和光電子等領域的廣泛應用。

近日,“2023功率與光電半導體器件設計及集成應用論壇”在西安召開,論壇由第三代半導體產業技術創新戰略聯盟(CASA)指導,西安交通大學、極智半導體產業網(m.ynpmqx.com)、第三代半導體產業主辦,西安電子科技大學、中國科學院半導體研究所、第三代半導體產業技術創新戰略聯盟人才發展委員會、全國半導體應用產教融合(東莞)職業教育集團聯合組織、西安和其光電股份有限公司等單位協辦。

期間,西安華合德新材料科技有限公司技術副總經理李灝文做了“面向低成本碳化硅功率器件用的大尺寸SiC 單晶技術”的主題報告。

李灝文

碳化硅材料是制作高頻、高溫、抗輻射、大功率和發光器件的優異材料。具有高可靠、高溫、高電壓、大功率、節能等特點,應用優勢明顯。目前全球40%能量作為電能被消耗,而電能轉換最大耗散是半導體功率器件。碳化硅(SiC)器件特別適合新能源汽車、深井鉆探、太陽能逆變器(實現直流與交流的轉換)、風能逆變器、工業驅動以及輕軌牽引等需要大功率電源轉換的應用。當前碳化硅在新能源汽車的滲透率只有24%,在光伏逆變器的滲透率只有20%,在軌道交通中只有2%。前景非常廣闊。碳化硅晶片對下游外延和器件有諸多影響.報告指出,碳化硅晶體制備要求高,相對于Si,SiC的下游需要新的設備,并且引入新的工藝。碳化硅晶片技術將向擴大晶圓尺寸、改進碳化硅長晶工藝、切片工藝控制的方向發展。

CASICON 系列活動簡介

 “先進半導體產業大會(CASICON)” 由【極智半導體產業網】主辦,每年在全國巡回舉辦的行業綜合活動。活動聚焦先進半導體產業發展熱點,聚合產業相關各方訴求,通過“主題會議+項目路演+展覽”的形式,促進參與各方交流合作,積極推動產業發展。CASICON 系列活動將以助力第三代半導體產業為己任,聯合實力資源,持續輸出高質量的活動內容,搭建更好的交流平臺,為產業發展貢獻應盡的力量。

(備注:以上信息僅根據現場整理未經嘉賓本人確認,僅供參考!)

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