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華海清科12英寸超精密晶圓減薄機量產機臺出貨

日期:2023-05-22 閱讀:250
核心提示:近來,據國內CMP(化學機械拋光)設備巨頭華海清科披露自愿性公告,其新一代12英寸超精密晶圓減薄機Versatile-GP300量產機臺已經

近來,據國內CMP(化學機械拋光)設備巨頭發布公告稱,其新一代12英寸超精密晶圓減薄機Versatile-GP300量產機臺出機發往集成電路龍頭企業。

 

Versatile-GP300機臺通過創新布局,集成超精密磨削、拋光及清洗單元,配置先進的厚度偏差與表面缺陷控制技術,提供多種系統功能擴展選項,具有高精度、高剛性、工藝開發靈活等優點,可以滿足集成電路、先進封裝等制造工藝的晶圓減薄需求。 

公司針對Versatile-GP300進行了工藝性能水平及智能化控制的迭代升級,在核心技術指標方面取得新突破。Versatile-GP300量產機臺的超精密晶圓磨削系統穩定實現了12英寸晶圓片內磨削TTV1um,達到了國內領先和國際先進水平,并配備了新開發的CMP多區壓力智能控制系統,突破傳統減薄機的精度限制,實現了減薄工藝全過程的穩定可控。

華海清科表示,Versatile-GP300量產機臺進入大生產線,標志著其性能獲得客戶認可,填補了國內芯片裝備行業在超精密減薄技術領域的空白。同時隨著先進封裝、Chiplet等技術的應用將大幅提升市場對減薄設備的需求,本次12英寸超精密晶圓減薄機量產機臺出貨,將有助于鞏固和提升公司的核心競爭力,對公司未來的發展將產生積極的影響。

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