增資完成后，萬業企業持有鐠芯電子的股權比例將從37.85%下降至29.630%，仍為其第一大股東，大基金二期和裝備材料基金分別持有17.284%、1.975%股權，分列二、三位。

 

值得關注的是，國家大基金投資此前覆蓋芯片設計、制造、封測、材料以及設備等產業鏈環節為主。本次投資是大基金首次布局半導體零部件公司，被認為具有風向標意義。同時，投資方上海裝備材料基金亦是國內第一家聚焦半導體裝備材料領域的產業投資基金。

 

動平衡資本先進制造事業部投資副總監許庭靜在接受記者采訪時表示：“目前國內企業在7大種類的半導體設備方面都有布局，但往上游穿透到零部件層面，仍然有許多關鍵零部件受制于海外。這些子行業一般市場規模不是特別大，但技術門檻較高，需要多年的技術積累、國內在這方面還有很多功課需要補，這些年國內提倡的‘專精特新’企業即主要布局這一領域。”

 

資料顯示，鐠芯電子直接持有鐠芯控股73.11%股權，鐠芯控股直接持有Compart公司100%股權。Compart公司主要產品包括BTP組件、裝配件、密封件、氣棒總成、氣體流量控制器（MFC）、焊接件等，可應用于集成電路制造工藝中氧化/擴散、蝕刻和沉積等設備所需的精確氣體輸送系統，是集成電路設備所需的氣體輸送系統領域供應商之一。

 

許庭靜認為，鐠芯電子所生產的氣體輸送系統屬于半導體設備精密機械部件，是一種關鍵系統。氣體流量控制系統一般是和化學氣相沉積CVD設備相配套，下游包括中微公司、北方華創、江蘇微導等。

 

光大證券研報指出，目前本土半導體設備零部件企業的技術能力、工藝水平、產品精度和可靠性與國外差距較大，整體國產化率僅為10%-30%，尤其在Compart相關的流量控制領域之前的國產化率幾乎為零。除半導體設備外，半導體設備核心零部件也是未來國產化的重點領域之一。

 

投資人方面，本次兩家投資方均為萬業企業的關聯方。其中，大基金二期與持有萬業企業5%以上股份的大股東大基金一期存在關聯關系；裝備材料基金GP由萬業企業控股股東浦科投資聯合相關機構共同設立，浦科投資為裝備材料基金GP的第一大股東。

 

記者查詢獲悉，裝備材料基金頻頻出手，其LP包括大基金一期、萬業企業、云南信托、國盛集團、國泰君安創新投、中信建投等知名企業。截至2022年3月末，裝備材料基金已投資御渡半導體、瀚薪科技、至臨半導體、長晶科技等企業。其中，所投的翱捷科技已于2022年初掛牌上市，國微思爾芯科創板IPO排隊中。

來源：《科創板日報》