近日，第七屆國際第三代半導體論壇暨第十八屆中國國際半導體照明論壇（IFWS & SSLCHINA 2021）的“氮化物半導體襯底與外延技術“分論壇上，中國科學院半導體研究所研究員張逸韻做了題為“氮化物‘異構外延’”的主題報告。

報告詳細介紹了非晶玻璃上氮化物的異質外延以及通過應變工程實現高外延，涉及如何控制平面內旋轉、非晶子上近單晶氮化物薄膜的外延、非晶石墨烯-玻璃晶圓上的高效LED等內容。

 

 

 

（內容根據現場資料整理，如有出入敬請諒解）