“十四五”時(shí)期是上海進(jìn)一步深化改革開放，培育新發(fā)展動(dòng)能、構(gòu)筑新發(fā)展優(yōu)勢(shì)的關(guān)鍵戰(zhàn)略時(shí)期。12月20日，《上海市高端裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展“十四五”規(guī)劃》（下稱“規(guī)劃”）發(fā)布。規(guī)劃指出，高端裝備產(chǎn)業(yè)是上海打響“四大品牌”、強(qiáng)化“四大功能”、加快產(chǎn)業(yè)數(shù)字化轉(zhuǎn)型和先進(jìn)制造業(yè)發(fā)展的重要支柱。規(guī)劃中提及，“十三五”時(shí)期，上海市市高端裝備產(chǎn)業(yè)規(guī)模持續(xù)擴(kuò)大、質(zhì)量能級(jí)不斷提升。
2020年，全市高端裝備產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)工業(yè)產(chǎn)值達(dá)5800億元，占全市工業(yè)總產(chǎn)值比重超15%。到2025年，初步建成具有全球影響力的高端裝備創(chuàng)新增長(zhǎng)極與核心技術(shù)策源地。
具體來看，包括高端裝備產(chǎn)業(yè)工業(yè)產(chǎn)值突破7000億元，市級(jí)特色產(chǎn)業(yè)園區(qū)數(shù)達(dá)到20家以上；建設(shè)國(guó)家和市級(jí)企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新中心100個(gè)，實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵裝備與核心部件首臺(tái)（套）突破300項(xiàng)；建設(shè)高端裝備市級(jí)智能工廠40家以上等。
“十四五”期間，上海市將推動(dòng)智能制造裝備、航空航天裝備、舶海海工裝備、高端能源裝備等優(yōu)勢(shì)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新升級(jí)，節(jié)能環(huán)保裝備、高端醫(yī)療裝備、微電子裝備等重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)快速增長(zhǎng)，重點(diǎn)細(xì)分領(lǐng)域從國(guó)際“跟跑”“并跑”向“領(lǐng)跑”邁進(jìn)。
其中，在微電子裝備領(lǐng)域，《規(guī)劃》指出，以自主可控、創(chuàng)新升級(jí)為重點(diǎn)，加快微電子裝備迭代升級(jí)，強(qiáng)化本地部件配套能力，圍繞12英寸大生產(chǎn)線需求，初步建成較完備的集成電路核心裝備自主供給體系。
一是集成電路裝備，瞄準(zhǔn)光刻、刻蝕、濕法、沉積、離子注入、量測(cè)檢測(cè)等工藝環(huán)節(jié)，推進(jìn)先進(jìn)光刻機(jī)、高端刻蝕機(jī)、晶圓清洗設(shè)備、離子注入設(shè)備、氣相沉積設(shè)備、量測(cè)檢測(cè)設(shè)備、先進(jìn)封裝設(shè)備等核心產(chǎn)品研發(fā)，在關(guān)鍵制程實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化突破；加強(qiáng)核心零部件本土保障能力，推進(jìn)光學(xué)、過濾、真空、運(yùn)動(dòng)、電控、密封、陶瓷等零部件攻關(guān)。
二是新型顯示裝備，推進(jìn)高世代線高端光刻機(jī)、有機(jī)材料蒸鍍?cè)O(shè)備、化學(xué)氣相沉淀設(shè)備、量測(cè)設(shè)備、光配向設(shè)備、張網(wǎng)設(shè)備等裝備研發(fā)突破，加強(qiáng)在各世代產(chǎn)線先進(jìn)制程中的串線應(yīng)用。
