期間， “IFWS  2021：碳化硅功率器件與封裝應(yīng)用論壇“成功召開。會(huì)議由蕪湖啟迪半導(dǎo)體有限公司、中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所、北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司、德國愛思強(qiáng)股份有限公司協(xié)辦支持。

▲北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司LED及化合物半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展部總經(jīng)理王顯剛
 

會(huì)上，北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司LED及化合物半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展部總經(jīng)理王顯剛分享了“化合物半導(dǎo)體工藝設(shè)備解決方案”主題報(bào)告。

北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司經(jīng)過二十年的發(fā)展，北方華創(chuàng)已成為國內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體裝備制造與服務(wù)商。在化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域，NAURA定制開發(fā)了化合物半導(dǎo)體刻蝕機(jī)、PECVD系統(tǒng)、槽式清洗系統(tǒng)和臥式擴(kuò)散/氧化系統(tǒng)，為客戶提供全面的設(shè)備及工藝解決方案。北方華創(chuàng)專注器件工藝研發(fā)，包括SiN/GaN 慢速低損傷刻蝕設(shè)備，SiC通孔高速刻蝕設(shè)備，高致密、低應(yīng)力的PECVD薄膜沉積設(shè)備等均已在國內(nèi)多條主流生產(chǎn)線上批量應(yīng)用。

在SiC量產(chǎn)線上，應(yīng)用于SiC功率器件的Etch、PVD、清洗設(shè)備、PEVCD、臥式爐等關(guān)鍵工藝設(shè)備在國內(nèi)主流產(chǎn)線上也已大規(guī)模應(yīng)用。國內(nèi)首臺(tái)量產(chǎn)型SiC高溫氧化退火/高溫激活立式爐在客戶端實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)應(yīng)用；公司的SiC長(zhǎng)晶爐已在客戶端批量投入使用。