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金宏氣體成功試產集成電路用電子級正硅酸乙酯(TEOS)
日期:2021-10-12
來源:半導體產業網
閱讀:283
核心提示:近日,金宏氣體總部成功進行了集成電路用電子級正硅酸乙酯(TEOS)的試生產。
近日,金宏氣體總部成功進行了集成電路用電子級正硅酸乙酯(TEOS)的試生產。
金宏氣體表示,這一突破標志著公司在解決行業“卡脖子”難題上又邁出了堅實一步,并將在不久后開展TEOS面向市場的大規模生產,為國內集成電路電子材料以國產替代進口,實現自主可控等方面做出新的貢獻。
據介紹,電子級TEOS是集成電路中制備外延材料時需要用到的微電子高端化學品,也是第三代半導體材料和新興半導體產業中重要的前驅體材料,生產過程中對控制金屬離子雜質含量等環節要求極高。
金宏氣體克服了電子級TEOS純化過程中金屬離子雜質去除難,痕量金屬檢測難,設備、管道、包裝容器易污染等多項技術難題,形成了具有自主知識產權的電子級TEOS純化、檢測、過濾和充裝技術。
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