據(jù)最新消息，臺(tái)灣太陽(yáng)能廠商太極旗下盛新材料于昨日（8月9日）宣布，其 4吋半絕緣SiC襯底已送樣驗(yàn)證，力爭(zhēng)今年底量產(chǎn)。

 

目前盛新材料擁有16臺(tái)長(zhǎng)晶爐，其中1臺(tái)和集團(tuán)母公司廣運(yùn)共同研發(fā)成功的長(zhǎng)晶爐，單月有效產(chǎn)量達(dá)400片。

 

SiC襯底進(jìn)入量產(chǎn)前，須經(jīng)過(guò)三階段測(cè)試驗(yàn)證，通常為期一年時(shí)間，第一階段為送樣測(cè)試；第二階段為試產(chǎn)；第三階段則進(jìn)入每月百片以上量產(chǎn)規(guī)模測(cè)試。且通常在進(jìn)入第二階段時(shí)，客戶(hù)便會(huì)提前預(yù)定產(chǎn)能。

 

大尺寸SiC長(zhǎng)晶技術(shù)方面，盛新已掌握6吋晶錠從熱場(chǎng)模擬、材料、制程的擴(kuò)晶技術(shù)，未來(lái)將直接切入6吋SiC襯底。

 

另一方面，臺(tái)灣知名硅晶圓大廠環(huán)球晶圓的化合物半導(dǎo)體業(yè)務(wù)也在積極跟進(jìn)，日前涉足SiC襯底和GaN外延片。

 

其SiC襯底集中在6吋導(dǎo)電型，目前月產(chǎn)能逾2,000片，年底會(huì)擴(kuò)至5,000片；GaN-on-Si外延片月產(chǎn)能2,000片，以6吋產(chǎn)品為主；而在GaN-on-SiC外延片方面，因難度較高，目前以4吋片小批量出貨。

 

值得注意的是，環(huán)球晶圓下半年將合并德國(guó)Siltronic，兩者的GaN-on-Si技術(shù)或?qū)⑸疃热诤稀Ｍ瑫r(shí)，此次收購(gòu)后，預(yù)計(jì)環(huán)球晶圓將成為全球第二大硅晶圓廠，甚至有可能超過(guò)日本信越躍居第一。