資料顯示，合肥至微半導體于2018年11月注冊成立，注冊資本2億元人民幣。此前，至純科技公告稱，其子公司至微半導體（上海）有限公司在合肥設立子公司（即合肥至微半導體），主要為了布局晶圓再生業務及電子產業相關設備的研發和生產，子公司成立后，將為晶合、長鑫等集成電路企業客戶配套提供測試片、擋控片等晶圓的研磨再生服務。