3月29日消息，據中欣晶圓發布，Ferrotec（中國）旗下安徽富樂德長江半導體材料股份有限公司投資建設年產 240 萬枚半導體晶圓再生項目，項目計劃總投資 10 億元，占地 75 畝，新建廠房 56774.38 平方米。
據悉，該項目購置國內外先進設備數百臺套（關鍵工序采用進口設備及專用設備），建設周期 15 個月，項目建成后將形成年產 240 萬枚 300mm 半導體晶圓精密再生的生產線，可達世界先進水平。
官方介紹，安徽富樂德長江半導體材料股份有限公司由日本 FerroTec 株式會社（日本磁性流體技術控股有限公司）在中國的全資子公司上海申和熱磁電子有限公司于 2019 年在銅陵發起創立。日本 FerroTec 株式會社（日本磁性流體技術控股有限公司）于 1992 年正式進軍中國市場。FerroTec（中國）現已成長為集產品研發、制造、銷售于一體的多元化企業集團。旗下管理的 20 余家公司與制造基地遍布中國各地，為國內外客戶提供具有世界先進水平的材料、器件、裝備和系統解決方案。
項目具有國內配備最完善的再生晶圓生產線，也是國內首家專業從事 300mm 大尺寸硅片晶圓再生的專業廠商，填補國內該領域空白。本項目的建設，將促使國內晶圓廠擺脫長期主要依賴進口的窘境，使其在國內即可實現高水平的大尺寸晶圓再生。
采用國際一流的 300mm 晶圓用全自動精密 CMP 研磨機，研磨加工實現全程自動化，厚度損失少；設備內部利用 HEPA(High Efficiency Particulate Air)過濾裝置，保持高潔凈度；另外量測設備采用美國 KLA-Tencor SP5 顆粒檢測儀 , 具有 DUV 靈敏度和高吞吐量的無圖案晶圓表面檢測系統，加工與量測設備均處于國際行業領先水平。
