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眾鴻半導體項目簽約上海臨港產業區

日期:2021-03-11 來源:集微網閱讀:306
核心提示:3月10日,眾鴻半導體項目簽約儀式在上海臨港產業區公司舉辦。
3月10日,眾鴻半導體項目簽約儀式在上海臨港產業區公司舉辦。
 
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圖片來源:上海臨港產業區
 
眾鴻半導體項目主要進行光刻工藝的主設備——涂膠顯影設備的國產化研發,現計劃入駐臨港產業區鉆石園8-2廠房進行設備的批量生產使用。據介紹,項目計劃在臨港產業區鉆石園新增生產廠房作為設備量產場所,2021-2023計劃投入12寸涂膠顯影設備以及其他半導體設備研發并量產化。
 
上海眾鴻半導體設備有限公司(以下簡稱“眾鴻半導體”)為上海眾鴻電子科技有限公司全資子公司,于2019年01月在臨港自由貿易新片區成立。
 
上海臨港產業區消息顯示,眾鴻半導體拳頭產品是專用光阻涂膠顯影設備。該設備廣泛應用于硅片(Si)、化合物半導體:砷化鎵(GaAs),氮化鎵(GaN),碳化硅(SiC)等集成電路制造領域。成立至今,眾鴻半導體已獲得專利37項,合作客戶有中芯國際、臺積電、 三安集成、積塔半導體、華潤上華、長電科技、通富微、塞萊克斯等
 
據介紹,眾鴻半導體致力于研發與制造更適合中國企業應用的涂膠顯影設備,將全力以赴為集成電路工藝設備國產化出力,推動涂膠顯影設備的進口替代在臨港新片區起航,助力“東方芯港”打造集成電路全產業鏈生態體系。
 
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