期間，由華燦光電股份有限公司、佛山市國星光電股份有限公司、北京北方華創微電子裝備有限公司共同協辦的“Mini/Micro-LED新型顯示技術”分會上，南京大學電子科學與工程學院副院長、教授劉斌做了題為“具有GaN隧道結的高效率綠光微型LEDs的PA-MBE制備”主題報告，分享了最新成果。
 

為增強空穴的注入效率，研究利用PA-MBE等離子體輔助分子束外延技術在C面綠光LEDs外延片上外延出GaN隧道結。該隧道結是由MBE生長的n++-GaN層和MOCVD生長的LEDs頂層p+-GaN層構成，這有利于實現陡峭的摻雜界面和超薄的耗盡區寬度，從而實現高效的帶間隧穿。
 

研究將利用該方法制備出來的TJ-LED外延片制備成不同直徑的微型LEDs器件。與傳統結構微型LEDs器件相比，在I-V測試中，TJ結微型LEDs表現出更小的器件電阻。
 

此外，隧道結微型LEDs的相對EQE測試結果表明其具有更低的閾值電流密度，并且增強的EL強度和相對EQE值（在32 A/cm2的注入電流密度下增強了約41.5%）都表明隧道結的引入降低了綠光LED的droop效應，增加了器件的發光效率。在對不同直徑的隧道結微型LEDs器件進行J-V測試研究表明LEDs頂部的n++/n+-GaN外延層可有效的實現載流子的注入。
 

劉斌長期開展III族氮化物半導體材料和微納光電子器件研究，并兼任重點實驗室/工程中心副主任，曾在英國謝菲爾德大學III-V族半導體國家實驗室從事博士后研究，在中國香港中文大學、瑞典皇家工學院(KTH)等訪問研究；主持國家重點研發計劃與國家自然科學基金項目/課題10余項，目前已發表SCI學術論文180篇，申請/授權發明專利50余項，獲國家自然科學基金委優秀青年基金，入選教育部青年長江學者。

 

（內容根據現場資料整理，如有出入敬請諒解）